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基于豐富的產(chǎn)品，針對不同行業(yè)特性，深入場景，提供智能制造綜合解決方案，助力企業(yè)智能化改造和數(shù)字化轉型。 -
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集團成員
ENTBA4894D_5軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人
產(chǎn)品描述
5軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人
TBA4894D_TBA系列半導體機器人
- ● 采用閉環(huán)伺服控制
- ● 可根據(jù)設備布局定制臂長及Z軸行程
- ● 可選配免電池絕對式編碼器
- ● 可選mapping傳感器類型：對射式、反射式
- ●可選末端執(zhí)行器類型：真空吸附式、夾持式、翻轉吸附式
臂長
200/260/320/400mm
額定/最大負載
3kg
搬運物
≤Φ300mm晶圓
關鍵詞：
新時達眾為興TBA4030F-07-09_4軸大氣圓柱坐標雙臂晶圓搬運機器人
規(guī)格參數(shù)
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